pok-radbundit

114 ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ µÕπ∑’Ë Ò : °“√ — ߇§√“–Àå ·≈– ¡∫— µ‘ The Journal of the Royal Institute of Thailand Vol. 33 No. 3 Jul.-Sep. 2008 √Ÿ ª∑’Ë ı ‡µ“º≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ¥â «¬‡∑§π‘ § CVD ·∫∫ø≈Ÿ Õ‘ ‰¥‡´™— π Plasma enhanced CVD ‡ªì πÕ’ °¢—È πµÕπÀπ÷Ë ß∑’Ë æ— ≤π“¢÷È π ‡æ◊Ë Õº≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ„π√–∫∫∑’Ë „™â Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ µË ” √–∫∫π’È √⠓߇ªì πÀâ Õß ¿“¬„µâ §«“¡¥— πµË ”°«à “∫√√¬“°“» ¿“¬„π¡’ ¢—È «‰øøÑ “ Ú ¢—È « ¢—È «∫«°Õ¬Ÿà ¥â “π≈à “ß ¢—È «≈∫Õ¬Ÿà ¥â “π∫π ∑’Ë ¢—È «≈∫µà Õ °— ∫™à Õᦥ Õπ·°ä ‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπº ¡ ∫π¢—È «∫«°«“ßµ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“‰«â ∑’Ë ¢—È «π’È “¡“√∂ª√— ∫Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ‰¥â ‡¡◊Ë Õª≈à Õ¬ ·°ä º ¡‡¢â “¡“„πÀâ Õß·°ä ·°ä ®– ∂Ÿ °°√–µÿâ π„Àâ °≈“¬‡ªì πæ≈“ ¡“¥â «¬ ·√ߥ— π‰øøÑ “ ·≈â «‡≈◊Ë Õπ≈ß¡“ª°§≈ÿ ¡ µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“∑’Ë ¢—È «∫«° ·°ä ‰Œ‚¥√- §“√å ∫Õπ°≈“¬‡ªì π∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ Õ¬Ÿà ∫πµ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“ ¥— ß√Ÿ ª∑’Ë ˆ ¥â «¬ ‡∑§π‘ §π’È ‡√“„™â Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ª√–¡“≥ Òı ∂÷ ß Ú Õß»“‡´≈‡´’ ¬ ‡∑à “π—È π ·µà √–∫∫∑’Ë æ— ≤π“¢÷È π¡“π’È ¬— ߺ≈‘ µ·∫∫‰¡à µà Õ‡π◊Ë Õß ®÷ ߉¥â º≈º≈‘ µπâ Õ¬ §ßµâ Õß¡’ °“√æ— ≤π“¢—È π Ÿ ßµà Õ‰ª‡æ◊Ë Õ„Àâ ‰¥â √–∫∫ ∑’Ë “¡“√∂º≈‘ µ‰¥â ¡“°·≈–µà Õ‡π◊Ë Õß √Ÿ ª∑’Ë ˆ √–∫∫°“√º≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ¥â «¬‡∑§π‘ § Plasma CVD