pok-radbundit

113 ¡»— °¥‘Ï ¥”√ß§å ‡≈‘ » ·≈–§≥– «“√ “√ √“™∫— ≥±‘ µ¬ ∂“π ªï ∑’Ë ÛÛ ©∫— ∫∑’Ë Û °.§.-°.¬. ÚııÒ ¢. ‡µ“·∫∫·π«µ—È ß ‡ π◊Ë Õß ®“°¢â Õ®”°— ¥¢Õß°“ √ ∑” ß “ π ¥â « ¬ ‡ µ “ · ∫ ∫ · π « π Õ π π— °«‘ ∑¬“»“ µ√å ®÷ ߉¥â √⠓߇µ“·∫∫ ·π«µ—È ß¢÷È π‡æ◊Ë Õ„Àâ ∑”ß“π‰¥â Õ¬à “ß µà Õ‡π◊Ë Õß µ≈Õ¥√–¬–¢Õß°“√«‘ ®— ¬ π— °«‘ ∑¬“»“ µ√å ¬— ß„™â Õÿ ª°√≥å ‡ªì π∑à Õ «“ß„π·π«µ—È ß ‡µ“∑’Ë „Àâ §«“¡√â Õπ·°à ∑à Õ§«Õµ´å °Á «“ß„π·π«µ—È ß‡™à π°— π „ π° “ √∑” ß “π® – ¡’ ∂— ß ∫ √ √ ®ÿ ·°ä ‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπº ¡Õ¬Ÿà °— ∫µ— «‡√à ß ªØ‘ °‘ √‘ ¬“∑’Ë ‡ªì π‡¡Á ¥‡≈Á ° Ê «“ßµ—È ßÕ¬Ÿà ∑’Ë ¥â “π∫π¢Õ߇µ“ ®“°π—È π®÷ ߪ≈à Õ¬ ·°ä ∑’Ë º ¡°— ∫µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“≈ß¡“ „ π ‡ µ “ ∑’Ë ¡’ Õÿ ≥ À ¿Ÿ ¡‘ ∑’Ë µâ Õ ß ° “ √ ·°ä ‰ Œ ‚ ¥ √ § “ √å ∫Õπ∑’Ë — ¡º— °— ∫ µ— «‡√à ß°Á ‡ª≈’Ë ¬π‡ªì π∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ ·≈â «ª≈‘ «ÕÕ°∑“ߥ⠓π≈à “ß¥— ß· ¥ß ‰«â „π√Ÿ ª∑’Ë Ù §. ‡µ“·∫∫ø≈Ÿ Õ‘ ‰¥´å ‡∫¥ (Fluidized Bed Reactor) ®“°°√–∫«π°“√º≈‘ µ∑à Õπ“‚𠧓√å ∫Õπ¥— ß°≈à “«¡“·≈â «¢â “ßµâ π ‡ÀÁ π ‰¥â «à “°“√æ— ≤π“°√–∫«π°“√º≈‘ µπ—È π ∑” ‡ æ◊Ë Õ „ Àâ ‡ °‘ ¥ § « “ ¡ – ¥ « ° „ π °“√∑”ß“π ·µà «à “¬— ߉¡à “¡“√∂¢¬“¬ ¢π“¥¢ÕßÕÿ ª°√≥å ‡æ◊Ë Õ„™â „π°“√º≈‘ µ √–¥— ∫Õÿ µ “À°√√¡‰¥â ªí ≠À“·√° §◊ Õ Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ¢Õ߇µ“∑’Ë „™â ¬— ß Ÿ ß¡“° ªí ≠À“∑’Ë Ú °“√º≈‘ µ°√–∑”Õ¬à “ßµà Õ ‡π◊Ë Õß„π√–¥— ∫Õÿ µ “À°√√¡‰¡à ‰¥â ®÷ ß ‰¥â ‡°‘ ¥§«“¡§‘ ¥∑’Ë ®–æ— ≤𓇵“·∫∫ ·π«µ—È ß„Àâ „™â Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ≈¥µË ”≈ß°«à “ √Ÿ ª∑’Ë Ù ‡µ“º≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ¥â «¬‡∑§π‘ § CVD ·∫∫·π«µ—È ß Ò Õß»“‡´≈‡´’ ¬ „Àâ ‰¥â ‡∑§π‘ § ø≈Ÿ Õ‘ ‰¥‡´™— π‡ªì π‡∑§π‘ §∑’Ë „™â æ≈— ßß“π µË ”Õ¬Ÿà ·≈â « ®÷ ߉¥â ¡’ π— °«‘ ∑¬“»“ µ√å °≈ÿà ¡Àπ÷Ë ß (Ú) π”‡∑§π‘ §π’È ¡“ª√–¬ÿ °µå „™â „π°“√º≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ ‚¥¬ ¥— ¥·ª≈ß®“°‡µ“·∫∫µ—È ß «‘ ∏’ °“√∑” ¡’ ¥— ßπ’È „ à ·ºà πµ–·°√߉«â ¥â “π≈à “ß‡æ◊Ë Õ „Àâ “¡“√∂∫√√®ÿ µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“‰«â „π §Õ≈— ¡πå ‰¥â Õ’ °∑—È ß¬— ß “¡“√∂„™â µ— «‡√à ß ‡§≈◊ Õ∫Õ¬Ÿà ∫π‡¡Á ¥‚≈À–√Õß√— ∫‰¥â ∑”„Àâ “¡“√∂„™â ‡¡Á ¥µ— «‡√à ß¢π“¥„À≠à ¢÷È π‰¥â °“√∑”ß“π®÷ ß –¥«° ‡¡Á ¥µ— «‡√à ßπ’È ®– ∂Ÿ °·°ä ‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπº ¡°— ∫·°ä ‰Œ‚¥√‡®π·≈–·°ä ‡©◊Ë Õ¬ ∑”„Àâ ‡°‘ ¥ ‡ªì π≈— °…≥–ø≈Ÿ Õ‘ ‰¥‡´™— π §◊ Õ‡¡Á ¥ ≈Õ¬µ— «Õ¬à “ßÕ‘ √– ‡¡◊Ë Õ‡µ“∂Ÿ °‡√à ß„Àâ ¡’ Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ª√–¡“≥ ˆ ∂÷ ß ˜ Õß»“‡´≈‡´’ ¬ ·°ä ‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπ∑’Ë ºà “π¢÷È π¡“®“°¥â “π≈à “ß¢Õ߇µ“®– — ¡º— °— ∫µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“·≈â «°≈“¬ ‡ªì π∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ≈Õ¬¢÷È π∑“ß ¥â “π∫π¢ÕßÕÿ ª°√≥å (√Ÿ ª∑’Ë ı) ‡∑§π‘ § π’È ®÷ ߇ªì π∑’Ë π„®·≈–§“¥«à “ “¡“√∂ æ— ≤π“¢π“¥„Àâ ∂÷ ß√–¥— ∫Õÿ µ “À°√√¡ ‰¥â Õ’ °‰¡à π“π‡√“§ß‰¥â ‡ÀÁ π∑à Õπ“‚𠧓√å ∫ÕπÕÕ°«“ߢ“¬„πµ≈“¥∑—Ë «‰ª „π√“§“æÕ ¡§«√ ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ ∑’Ë º≈‘ µ‰¥â ‡ªì π·∫∫ºπ— ßÀ≈“¬™—È π