pok-radbundit

112 ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ µÕπ∑’Ë Ò : °“√ — ߇§√“–Àå ·≈– ¡∫— µ‘ The Journal of the Royal Institute of Thailand Vol. 33 No. 3 Jul.-Sep. 2008 √Ÿ ª∑’Ë Ú ‡µ“º≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ·∫∫„™â · ߇≈‡´Õ√å Chemical vapor deposition (CVD) „™â «‘ ∏’ ∑”„Àâ “√√–‡À¬°≈“¬‡ªì π ‰Õ·≈â «‰ª‡°“–µ‘ ¥∫πµ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“ ¥— ßπ—È π °√–∫«π°“√π’È ®–ª√–°Õ∫¥â «¬ Õß§å ª√–°Õ∫À≈— ° Û Õ¬à “ß §◊ Õ - µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“ - “√ª√–‡¿∑‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπ À√◊ Õ·°ä §“√å ∫Õπ¡ÕπÕ°‰´¥å - æ≈— ßß“π§«“¡√â Õπ °√–∫«π°“√π’È ¬— ß “¡“√∂·∫à ß ‡ªì π°√–∫«π°“√¬à Õ¬‰¥â Û °√–∫«π°“√ §◊ Õ °. ‡µ“·∫∫·π«πÕπ Õÿ ª°√≥å ∑’Ë „™â „π°“√º≈‘ µ∑à Õπ“‚𠧓√å ∫Õπ·∫∫·π«πÕππ’È ª√–°Õ∫ ¥â «¬∑à Õ§«Õµ´å Õ¥Õ¬Ÿà „π‡µ“Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ Ÿ ß∑’Ë „Àâ §«“¡√â Õπ¥â «¬≈«¥§«“¡√â Õ𠇵“π’È §«∫§ÿ ¡Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ·∫∫Õ— µ‚π¡— µ‘ „ à µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“‰«â „π∂“¥‡´√“¡‘ ° ∂“¥π’È “¡“√∂‡§≈◊Ë Õπ¬â “¬‡¢â “ÕÕ°®“° ‡µ“‰¥â –¥«° ∑”„À⠪ؑ ∫— µ‘ ß“π‰¥â ßà “¬ π”∂“¥π’È «“ß¿“¬„π∑à Õ‡´√“¡‘ °µ√ß µ”·Àπà ß°≈“߇µ“ ª≈à Õ¬°√–· ‰øøÑ “ ‰ª∑’Ë ≈«¥§«“¡√â Õπ®π‰¥â Õÿ ≥À¿Ÿ ¡‘ ∑’Ë µâ Õß°“√ª√–¡“≥ ˜ Õß»“‡´≈‡´’ ¬ ªÑ Õπ·°ä ‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπ (Õ“∑‘ Õ–‡´∑’ ≈’ π ‡Õ∑’ ≈’ π ¡’ ‡∑𠇪ì πµâ π) º ¡°— ∫·°ä ‰π‚µ√‡®π·≈–·°ä ‰Œ‚¥√‡®π‡¢â “∑“ß ∑à Õ§«Õµ´å Õ¬à “ß™â “ Ê ·°ä ‰Œ‚¥√§“√å ∫Õπ ‡°‘ ¥ªØ‘ °‘ √‘ ¬“∑’Ë º‘ «¢Õßµ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“ ‰¥â ‡ªì π∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ·≈â «À≈ÿ ¥ÕÕ° ¡“æ√â Õ¡°— ∫µ— «‡√à ߪؑ °‘ √‘ ¬“ ¥— ß· ¥ß ‰«â „π√Ÿ ª∑’Ë Û √Ÿ ª∑’Ë Û ‡µ“º≈‘ µ∑à Õπ“‚π§“√å ∫Õπ¥â «¬‡∑§π‘ § CVD ·∫∫·π«πÕπ